和遠(yuǎn)氣體擬投資6.84億元擴(kuò)建電子級三氟化氮項(xiàng)目，公司貨幣資金還有1.83億元，無交易性金融資產(chǎn)

2026/3/3 17:33:32 挖貝網(wǎng) 周路遙

2026年3月3日，和遠(yuǎn)氣體（002971.SZ）發(fā)布公告稱，根據(jù)市場行情并結(jié)合公司實(shí)際情況，公司擬投資6.84億元擴(kuò)建的4500噸/年電子級三氟化氮項(xiàng)目。該項(xiàng)目分兩期建設(shè)，建設(shè)期三年，資金來源為控股子公司和遠(yuǎn)新材料自籌。

公開資料顯示，電子級三氟化氮（NF3）是一種常溫常壓下呈無色透明的氣體，分子量為71.002，沸點(diǎn)為-129.06℃。該氣體在微電子工業(yè)中主要用于等離子蝕刻工藝，其分解產(chǎn)生的活性氟離子可對硅、氮化硅等材料實(shí)現(xiàn)高選擇性蝕刻且無殘留。

另外，根據(jù)公告，和遠(yuǎn)氣體此次擴(kuò)建的4500噸/年電子級三氟化氮項(xiàng)目，是在宜昌產(chǎn)業(yè)園項(xiàng)目建設(shè)基礎(chǔ)上擴(kuò)建的項(xiàng)目。宜昌產(chǎn)業(yè)園項(xiàng)目占地880畝，分兩期建設(shè)，規(guī)劃的主要產(chǎn)品為“電子級三氟化氮、六氟化鎢、三氯氫硅、二氯二氫硅、四氯化硅、硅烷、乙硅烷等電子特氣，以及氨基、乙烯基、環(huán)氧基、酰氧基、烷基、苯基、硫基等系列硅基功能性新材料”等產(chǎn)品。截至本公告披露日，上述所規(guī)劃的產(chǎn)品正在分批試生產(chǎn)，預(yù)計(jì)今年將逐步達(dá)到“投產(chǎn)-穩(wěn)產(chǎn)”的目標(biāo)。

資料顯示，湖北和遠(yuǎn)氣體股份有限公司的主營業(yè)務(wù)是各類氣體產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、服務(wù)以及工業(yè)尾氣回收循環(huán)利用。公司的主要產(chǎn)品是大宗氣體、電子特氣及電子化學(xué)品、硅基功能性新材料、尾氣回收、清潔能源、工業(yè)級化學(xué)品。

截至2025年9月30日，和遠(yuǎn)氣體貨幣資金為1.83億元，同時(shí)公司沒有交易性金融資產(chǎn)。

和遠(yuǎn)氣體三氟化氮

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